二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037 #293666362 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037是一种化学气相沉积（CVD）反应器，用于沉积薄膜材料。该反应堆是生产半导体、光电、显示器、玻璃、陶瓷材料等高性能薄膜产品的理想选择。它有一个200毫米垂直设计，具有一个分割卡带，允许从顶部和底部同时加载基板。利用分体式卡带设计，反应堆提供了增加的体积，允许在一个循环中同时处理多个基板，减少循环时间和成本。反应堆还具有低角度磁场技术，已被证明能提供出色的等离子体均匀性和减少整个晶片的粒子污染。低角度磁场还有助于提高薄膜的均匀性，以及减少沉积在晶片上的颗粒造成的缺陷数量。此外，AMAT 0010-16893 / 0195-01037采用单室设计，可长期可靠运行。腔室配有多区加热设备，提供统一的温度轮廓，用于精确的温度控制。这种特性使材料沉积具有极好的可重复性。该室还包括一个自动化的环境气体输送系统，它允许一个受控的工作流程和良好的过程控制。此外，该室包括一个专利等离子体源设计，这有助于抑制放电噪声和确保稳定的等离子体生产。反应堆还提供多点压力控制，用于精确的过程控制。此外，反应堆还配备了高负荷活动报警单元，对反应堆进行监控，确保安全可靠。警报机还通过与外部处理系统的通信能力提供了额外的自动化层。总体而言，APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037是为生产高性能薄膜产品而设计的先进CVD反应器。它提供了200毫米垂直设计，具有分割盒式磁带和低角度磁场技术，允许快速晶片处理，而不会造成均匀性或颗粒污染的任何损失。再者，反应堆提供出色的温度稳定性、精密的过程控制以及先进的安全报警系统，以确保可靠的生产环境。