二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-17798 #9112022 待售

ID: 9112022
晶圆大小: 12"
Degas Heater, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-17798是一种以化学气相沉积(CVD)原理工作的反应堆。用于制造材料和薄膜的薄层。CVD是一种将气态前体引入反应堆腔室,然后在基板上反应形成固体材料的技术。AMAT 0010-17798设计具有特定的功能,使其适合各种CVD工艺。反应堆的设计包括一个可重新装填的腔室、一个工艺罐和一个排气。可再填充室含有气态前体,而工艺罐则含有基材。气体和基材在工艺罐中发生化学反应。排气使CVD反应的副产物从系统中逸出。基底室设计为在高温下工作。用铁陶瓷衬里绝缘,减少热损耗,保护容器不被氧化。可再填充的腔室被密封,以尽量减少有毒化学物质泄漏的风险,并且可以用多种化学物质填充,视工艺要求而定。反应堆还具有多项安全特点。该系统采用故障安全装置和紧急关闭开关设计。故障安全设备在过程中出现中断时激活,紧急开关可用于手动关闭系统。这些功能可防止任何工艺故障或安全隐患。反应堆具有高度的灵活性,可用于多种CVD工艺。可用于低温沉积、等离子体溶液和湿法化学过程等工艺。这使得它成为各种应用程序的通用且高效的工具。总体而言,APPLIED MATERIALS 0010-17798反应堆是CVD工艺必不可少的工具。它结构良好、可靠且易于使用,是各种CVD过程的理想工具。
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