二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21246 #293593053 待售

ID: 293593053
晶圆大小: 8"
Heater assembly, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-21246反应堆是一种高端工艺设备,用于各种行业的各种应用。它是一个大的、腔室式的系统,有圆柱形的底座,并结合了多区石墨消声器、气体歧管和倾斜的坩埚。该反应堆能够同时生产多种工艺配方,并提供温度和压力的精确控制。通过数字温度控制和主动冷水浴的结合,提高了对温度的精确控制。AMAT 0010-21246石墨反应堆的体系结构提供了对工艺参数的精确控制,使客户能够设计出具有高度精确温度曲线的精确工艺。通过在消声器炉中利用多个温带,可以得到精确的热梯度,这对于某些反应是最佳的。室内的高温和压力可以精确控制,允许精确控制决定工艺速率的参数,从而提高所需产品的产量。应用材料0010-21246石墨反应器由耐腐蚀材料构成,特别注意石墨制成的消声炉,具有较高的温度可重现性。该倾斜面用耐腐蚀合金制成。反应堆包括一个气体歧管,使高压和低压气体输入腔室,提供对腔室内大气的精确控制。反应堆配有由自动温度关闭、气压监测和过温信号组成的综合安全单元。这些功能旨在降低风险并确保安全运行。此外,该反应堆设计方便用户使用,包括可听到的警报和可视化的进程监测指标。0010-21246石墨反应堆是一种坚固、精密工程的机器,非常适合各种不同的应用。它非常适合需要精确控制室内温度、压力和环境的工艺,如cVD/PECVD和蚀刻/沉积应用。无论是用于研发还是用于生产环境,AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-21246石墨反应堆都提供可靠、精密设计的性能。
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