二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21246 #9378778 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-21246 Reactor是一种精密的设备，设计用于薄膜沉积在基板上，用于先进的研究和生产应用。反应堆可用于原子层沉积（ALD）、物理气相沉积（PVD）、低压化学气相沉积（LPCVD）、超高真空（Ultra High Vacuum，UHV）等多种过程。反应器的外部由不锈钢构成，并有一个隔离室，该室配有用于沉积过程的真空设备。Advanced Process Control （APC）系统用于控制所选过程所需的参数（如压力、温度和流率）,并通过用户友好的界面对操作进行实时监控。反应堆内部由一种机制组成，该机制允许精确输送用于ALD或CVD的前体材料，并在PVD工艺中产生沉积弧。设计用于沉积的喷嘴有两种配置：用于CVD工艺的多端口或用于ALD工艺的单端口。根据基板材料和尺寸的不同，可以使用旋转或不旋转的基板支架来确保均匀的膜沉积。AMAT 0010-21246反应堆装有脉冲电子束源、质谱仪、加热泵机、自动气体缓冲机等一系列装置。这些特性使用户能够控制操作条件，如基板的温度以及过程中使用的气体的压力和流量。该反应器最终是一种高效、准确的薄膜沉积机械，并提供了极大的灵活性，因为用户可以借助高级工艺控制工具快速调整参数和操作。机械的复杂部件非常适合生产具有高重复均匀性和对基板附着力的薄膜。