二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-23716 #293810759 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-23716反应堆是一种精密的设备，用于制造半导体和金属材料，用于电子工业。它是一种超高真空系统，旨在创造低至10-7 Torr的真空水平，从而能够沉积超薄膜。它由一个具有6英寸反作用室的多室单元、三个15英寸腔室端口、几个工艺气体、13-Megawatt加热组件以及各种电源和仪表组成。这台机器能够处理从室温到250°C的温度，允许各种沉积方法。反应室由不锈钢製成，并由13 MW的组件加热，造成整个腔室的温度分布均匀。高压气体喷射工具确保气体分布均匀，用于蚀刻和沉积过程。每个过程的速率是可变的和可调的，使得复杂的结构沉积在广泛的温度范围。三个15英寸的腔室端口允许将额外的气体和工艺组件引入环境。这些部件包括无窗辉光放电阀、晶圆定向装置和显微镜，用于现场检查。反应室内的环境在原子上是清洁的，减少了任何过程步骤中的污染风险。反应堆还包括两个通用电源，一个高效的可编程电源，以及额外的电力部件，以帮助控制和操纵各种工艺气体和温度。安装在反应堆中的仪表监视几个工艺参数，如压力、温度和气体成分，允许实时和后处理分析。AMAT 0010-23716反应堆是半导体工业的重要工具。它提供了高度的过程控制和准确性，同时保持卓越的真空性能。它的多功能性和坚固的结构使其成为许多薄膜制造应用的绝佳解决方桉,使其成为业界有价值的设备。