二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27430 #293777810 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27430 Reactor是一种多用途工具，允许使用者处理各种底物。它设计用于进行多种材料的改变，而无需打开反应堆。这种独特的反应性功能允许用户从一个进程过渡到另一个进程,而不会导致停机,从而产生更高的吞吐量容量。AMAT 0010-27430反应堆通常处理硅（Si）晶片。该腔室的主要铝制外壳包含硅材料通过的硅管。管状Si室内部有两个独立的双位置静电卡盘，一个用于进入，一个用于工件的退出。腔室的一端用盖子密封，另一端保持打开状态。该室还容纳各种工艺所需的几种工艺气体，如等离子体蚀刻或氧化。APPLIED MATERIALS 0010-27430 Reactor的一个主要特点是它能够创造出自持等离子体。自维持等离子体是化学气相沉积和气体增强蚀刻等过程所必需的。等离子体的产生是通过使用由氦气、氙气和氮气等催化气体组成的气体溷合物来控制反应发生的。这允许用户根据所建议的应用程序所需的条件进行适当调整。0010-27430反应堆的另一个独特特点是腔室温度控制。这可以使腔室在发生的各种过程中保持在所需的温度范围内。此外，为了确保过程的稳定性，反应堆配备了主动通量控制装置。该通量控制器可确保热区由于压力和温度的波动而受到的干扰最小。这样就可以控制过程,并提高结果的可重复性。多种材料的加工能力使得AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-27430反应堆成为大学、科研院所和工业的绝佳选择。其独特的腔室设计和过程控制功能为多种过程和材料转换提供了前所未有的组合。AMAT 0010-27430反应堆的灵活性使得许多独特的创新应用在加速的时间范围内得以实现，让用户快速超越目标、要求和预期。