二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #293724910 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983是为半导体制造应用而设计的反应性离子蚀刻（RIE）反应器。反应堆采用四个不同的腔室部分。包含气体管线的上部部分向反应室提供反应材料。下部装有真空歧管/泵装置，用于腔室疏散和维护。反应室是密封的，并配有惰性气源，允许在蚀刻过程中控制环境，从而确保材料的精密蚀刻。AMAT 0010-27983 RIE反应堆的腔室温度范围为50-400摄氏度，能够容纳各种各样的晶圆尺寸和形状。可以精确调整从直流到射频的电源,以产生各种材料的精确蚀刻结果。反应性气体可通过气体管线与相应的流量控制器引入反应室，调节气体溷合和压力。此外，该系统还配备了一个自动晶片处理单元，该单元与机械臂耦合，使晶片能够从反应室中自动装卸。为了进一步提高蚀刻精度,该机器提供了其他定制选项,如机器人支撑结构、屏蔽和可调节的搁置位置,以实现晶圆的最佳跟踪。APPLIED MATERIALS 0010-27983 RIE反应堆还提供模块化设计，方便与现有系统集成，并扩大生产能力。为确保最佳工艺性能和可靠性，0010-27983反应堆采用符合ISO 9000认证的质量标准出厂测试。此外,该工具旨在接受升级和升级,可提供更大的腔室尺寸、更高的安全级别、改进的工艺流程和改进的温度稳定性。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 RIE反应堆是高效、精确蚀刻半导体材料的理想工具。它具有多种特殊功能,包括自动晶片处理、可调节的搁置位置和屏蔽,以及可确保最佳工艺性能的模块化设计。而且，对资产进行彻底的测试和质量控制，以确保可靠性和安全性。
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