二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #293658018 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094反应器是一种高效、通用的工具，用于薄膜沉积在基板上。这种反应堆是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备，这意味着它使用化学反应来制造材料层并将其沉积到基板上。反应堆由多室系统组成，具有多种配置选项，在涂覆基板时允许更大的灵活性。反应堆的堆芯是一个沉积室，里面装有涂层用的基板。这个腔室配有多个加热源，包括灯加热器、石英加热器和冷热墙，以精确管理基板的温度。另外，腔室与一个动力输送单元耦合，该单元应用产生形成薄膜的化学反应所需的电力。沉积室与外部环境的界面是真空传递室。该腔室配有机械助推泵和低温冷却机，以维持所需的真空压力和温度范围。转移室还能使基板从沉积室自动移动到外部环境进行冷却和测试。该反应堆设计用于处理各种基材，如玻璃、陶瓷和金属。它还可以处理大型基板，尺寸可达450mm。它能够一次沉积多种目标材料的厚层，每层的厚度可达10nm。沉积速率是可变的，可以根据所需的层厚度来设置。此外，该反应堆是专门为超清洁作业而设计的，用于沉积底物均匀且污染水平低的薄膜。AMAT 0010-30094反应堆是沉积工艺的绝佳工具，具有高精度控制和多功能性。它能够为广泛的薄膜应用生产薄膜，如光学涂层、半导体和光电子，精度和效率都很高。多重加热系统、送电工具、真空控制能力使其具有高度可靠和人性化的特点。