二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #9026410 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094是一种精密反应器，设计用于干蚀刻、沉积、氧化等基材加工应用。AMAT 0010-30094采用特别设计的双级真空室，配备两台独立真空泵，实现令人难以置信的高真空。效果是一个统一、精确的过程环境，结果无与伦比。550mm直径的腔室具有平衡的线性能量分布，沿整个基板均匀加工。这样可以在整个晶片上实现更高的蚀刻速率和更好的均匀性。此外，该室配有嵌入式冷却设备，可准确有效地控制工艺温度。除了双级真空室之外，APPLIED MATERIALS 0010-30094还具有多种可选组件，以满足各种加工需求。可以安装气体输送系统，将加工气体送入腔室，并监测压力和流量。这确保了工艺的每个步骤都是在适当的化学环境下完成的。还可以实现自动晶圆传输单元来装载和卸载基板。这台机器可以用来在腔室之间移动基板来执行更复杂的过程。0010-30094还可配备诊断工具,实时检测蚀刻、沉积和温度过程。这一诊断资产使用压力和温度传感器以及电子束和电离仪来监测腔室状况。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094是需要高精度的专业加工的理想反应堆选择。这种先进的反应堆使用最先进的技术和工艺来产生可靠的结果，使用户能够更好地控制其工艺。从基本蚀刻到复杂沉积，AMAT 0010-30094为用户提供了一流的性能和可靠性。