二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094R #9148701 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094R是半导体制造业中使用的一种反应堆。它是一个芯片封装反应器,设计用来容纳和加热有机物和气体等挥发性化学物质。AMAT 0010-30094R反应堆是一种封闭式设备,使其能够进行温度敏感的过程,而不会将有害物质释放到环境中。APPLIED MATERIALS 0010-30094R反应器设计为串联工艺系统,具有双工艺室.这允许在一个密封单元中进行多个过程,从而提高效率。由不锈钢、镍铬、氧化铝溷合而成。腔室的内部半径为250毫米,为不同的基板提供了充足的空间。总容量15升。0010-30094R反应堆是为需要高温能力的过程而设计的。这是通过有源气体再循环和高功率加热元件实现的。温度范围为-60 °C至+450 °C。加热元件效率高,在指定温度范围内提供10°C/秒的快速加热速率。该单元还有一个氧传感网络,提供实时氧气控制,防止任何氧化。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094R中的反应过程可以预先编程。这允许精确的过程控制,因为它可以实现精确的计时和参数。它还提供高度的安全和保护,拥有一个由密封件、阀门和传感器组成的综合机器来监控压力和温度变化。低级压力控制的存在有助于降低化学燃烧的风险,并有助于确保过程控制和产品的一致性。AMAT 0010-30094R反应堆是半导体制造工业中一种高效可靠的化学加工工具。资产的多功能性允许在单个密闭单元中执行多个过程,从而实现最佳的过程控制和产品一致性。通过提供效率、安全性和保护等因素,该设备非常适合在众多工艺应用中使用。
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