二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30125 #9277735 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30125是一种高速反应室，用于薄膜快速精确沉积。它利用化学气体和能源的溷合物来产生所需的薄膜特性，如均匀性、光学和电性能。该反应堆室是专门为成本效益高的工艺而设计的，允许较低的每区成本沉积率。反应堆室由不锈钢构成，提供耐温外壳。为了在操作过程中保持稳定和防止不必要的氧化和污染，存在惰性气毯系统。此外，真空泵将空气从腔室中抽出，从而产生反应所需的压力。该腔室通常在操作过程中加热到650°C，进一步有助于反应过程。这个腔室心脏的主要元素是晶圆加热器、感应耦合等离子体、（ICP）发生器、淋浴头、高频、低频高压发生器，以及相关的电极、线圈、气线。晶片加热器在晶片上保持均匀的温度，而感应耦合等离子体发生器则产生带正电的离子和电子的均匀等离子体。然后，淋浴头将等离子体引向晶片。过程中，高频和低频发电机向电极提供电能，导致与等离子体粒子发生级联反应。一旦所需的铜薄膜被沉积，气体和电能就可以被切断，从而使得晶圆加工得以快速周转。综上所述，AMAT 0010-30125是一种高速反应室，旨在高效、经济高效地快速沉积薄膜。其组分结合起来，通过涉及等离子体、电能和温度控制气体的级联反应实现精确、可控的薄膜沉积。