二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30319 #293661399 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30319是一种高性能反应堆设备，旨在为复合半导体及相关材料的生产提供优越的加工和沉积能力。该反应堆非常适合与MEMS、光电元件、电力电子设备以及使用先进薄膜和器件制造工艺制造的其他微量和纳米级结构有关的应用。反应堆具有针对高通量过程优化的大内容量，最大气流高达9000标准立方厘米每分钟（sccm），总压力高达1000 mTorr。反应堆采用射频溅射源，可精确控制溅射沉积厚度和等离子体参数，还配备了集成旋转基板装载机，优化了基板交换，最大限度地减少了对额外设备的需求。该系统配备了负载锁模块，高分辨率、多区域数字控制单元提供了整个基板的精确均匀性。腔室可以控制到-20°C的温度，允许通过变化的温度范围来优化层厚和组成。反应堆采用具有广泛灵敏探测能力的离散四极质谱仪，用于监测溅射层或沉积层的组成。先进的气体输送模块还确保对蚀刻和沉积气体的精确输送控制，能够输送多达20种气体。反应堆机被设计为与一系列的加工工具配合使用，如原位表面分析工具、晶圆处理工具和其他附件。此外,该资产还具有多种安全功能,包括机械传感器、联锁和通风系统。总体而言，AMAT 0010-30319反应堆模型为先进的薄膜和器件制造工艺提供了精确的性能和无与伦比的吞吐量。它非常适合生产复合半导体材料和MEMS、光电元件以及其他微量和纳米级结构。