二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #119697 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 Reactor是一种先进的CVD（化学气相沉积）工具，为工程涂层和微观结构提供完整的热CVD工艺。该设备构建在模块化平台上,使研究人员能够设计解决方桉以满足其最苛刻的过程要求。AMAT 0010-30686反应堆提供了广泛的工艺能力，包括从室温到1000C的标准工艺温度以及10-200 mTorr的工艺压力。该系统非常适合需要高度控制的热CVD过程和/或非常高的温度的研究应用。应用材料0010-30686反应堆包括一个八角形双区反应堆炉，用于单晶片或批量加工，以及一个气体分配歧管，最多可容纳八种工艺气体。板载过程监控设备有助于确保从运行到运行的可重复、可靠的过程。此外，过程参数的实时控制允许用户针对特定目标优化沉积过程，如薄膜厚度和薄膜均匀性。0010-30686反应堆的燃烧室由95%的氧化铝构成，非常适合与广泛的工艺气氛和化学体系兼容。腔室还包含一个3-Kilowatt射频发生器，用于输送某些过程所需的高能等离子体。射频发生器产生的辐射热可用于达到最高沉积温度或维持等温过程，这取决于最终用户的需求。安全和维护功能使AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686反应堆与其他系统脱颖而出，具有前置加载晶圆穿梭机等特点，以及降低装卸时间和提高操作安全性的过程卸载单元。反应堆有一个集成的维护机器，以及一个全面的数据记录功能来跟踪过程事件。最后,可以使用控制控制台上的按钮键盘远程上下电。AMAT 0010-30686反应堆是用于高温和/或高纹理工艺工程和研发的功能强大且用途广泛的CVD工具。这一资产的模块化平台允许灵活和直观的最终用户设置，以便能够针对具有不同处理气氛和化学特性的各种过程量身定制。这种先进的热化学控制反应堆的精确控制、坚固的安全特性和可重复的性能可以使依赖创造性工艺工程的研究应用受益。