二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #293635611 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686是一种单片批次化学气相沉积（CVD）设备，设计用于工艺灵活性和尽可能高的工艺性能。这种反应器结构由不锈钢制成，气密，用于腐蚀性材料。该系统使薄膜能够在高度均匀且在高速度沉积和高温下完全光滑的基板表面沉积。该装置采用单盒式设计，可同时进入工艺室和负载锁室。该工艺室为标准外延和高级工艺化学提供两区配置，为特种工艺化学提供三区配置。负载锁室设有多功能原位加工室，并有多个用于加工气体、泵和其他附件的端口。AMAT 0010-30686反应堆包括一个气体箱，用于容纳气体输送和监测系统。这个气箱是温度控制的，包括粒子过滤、压力和流量控制。它还包括一个带有电子流量控制和压力传感器的气体溷合歧管。该机拥有所有的电子自动化、算法和先进的软件技术。它支持具有多达七种气体的高速蚀刻和沉积配方，以及多个腔室功能。特点包括用于热均匀性的集成冷却器、用于最大化上浴负载的集成负载端口支持、具有四区壁控制集成的多区域工艺控制以及自动配方优化。在安全性和可靠性方面，该工具拥有报警系统、安全联锁、电压联锁、过程监控系统，以确保安全可靠的运行。此外，反应堆的设计能耗低，运行效率高。此资产还具有模块化设计,便于维护和服务。总体而言，应用材料0010-30686反应器是制造高质量薄膜的可靠高效模型。其先进的工艺化学、多区工艺、气箱温度控制设计、安全联锁和报警，以及优化的配方自动化，使其成为在均匀且表面平滑度较高的基板上沉积薄膜的理想设备。