二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #9199797 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686是一种等离子体CVD反应器，设计用于对多种材料进行快速处理。它能够在非常高的温度下运行,并提供多种工艺选项,使用户能够为其特定应用程序选择最佳处理参数。反应堆配有高端等离子体源，能够产生高能离子，允许在高温下进行处理。坚固可靠的等离子体源还允许高效的热传输，从而实现快速的过程循环和出色的过程重复性。AMAT 0010-30686反应器是一个密封的矩形室，由顶级铝和不锈钢构成。位于反应堆顶部的气体歧管连接到气体管线，可以调整以提供给定过程的最佳流量和压力水平。在腔室内部，使用支撑结构将等离子体火炬悬挂在基板表面上方，从而实现对工艺条件和可重复结果的最佳控制。等离子火炬由高频发电机供电，能够产生高能（13.56 MHz）无线电波。这种能量随后通过射频网络传递到火炬喷嘴，产生高密度的等离子体。等离子体的能量足以达到高达1500 °C的温度，允许薄膜和涂层以每秒几埃的速率生长。将基材装入腔内，然后浸入液体前体溶液中。液固界面可以保持恒定温度，使底物保持均匀加热，促进均匀膜沉积。腔室内部的压力水平可以调整，以达到特定过程所需的压力。温度可以通过控制面板调节，该控制面板与嵌入腔壁的热电偶相连，可以对工艺条件进行精确控制和监测。APPLIED MATERIALS 0010-30686反应堆可用于广泛的应用，使其成为研究人员和行业的通用工具。凭借其可靠和可重复的工艺，它允许制造高质量的薄膜、涂层和其他复杂材料，用于电子、光电、传感器和医疗设备。