二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #9026413 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162是专门为大规模生产薄膜而设计的完整低压化学气相沉积（LPCVD）设备。该系统由六个部分组成：一个炉、一个气体控制单元、一个控制器、一个真空室、一个输送单元和一个真空储层。每个组件协同工作,可以精确控制过程参数,从而使机器能够降低成本、提高产量并提高吞吐量。该炉是该工具的主要温度控制单元，为LPCVD工艺提供了均匀的温度分布。其设计可承受高温，可用于沉积氧化硅、氮化物和硅氘膜。气体控制装置设计用于在指定温度下精确溷合和凝结气流。使用质量流量控制器和机械阀门的组合实现了对工艺气体的精确控制。控制器是一种计算机控制的数字逻辑控制器，它协调资产组件的运行。控制器监控和测量过程参数,用于编程配方、监控操作性能以及控制过程时间和产品质量。真空室是一个定制的铝制腔室，带有不锈钢衬里。它旨在为沉积过程提供超高真空环境。送货模式是一种灵活、高压的设备，其设计目的是以高达14巴的速度输送加工气体，从而提高产量，减少加工时间。它采用高压气体点播系统，在需要时自动输送加工气体。真空储罐的设计是为了减少加工室内对粗糙泵的需要。该装置旨在减少机器循环时间，提高工艺可靠性。总体而言,AMAT 0010-36162 LPCVD工具是一种完全自动化的高性能资产,旨在适应大规模生产薄膜的需要。其组件集成到一个紧凑的模型中，该模型提供了对过程参数的精确控制，增加了吞吐量，降低了成本并提高了产品质量。