二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162W #293620937 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162W Reactor是一种高性能、高通量的工具,用于执行化学和材料处理操作,如化学气相沉积、蚀刻和表面改性。该反应堆是一种改进的高效、低温、直流（DC）驱动等离子体增强设备，设计用于标准直流电源。其多晶硅衬里使其成为半导体工业中金属、聚合物和其他介电材料沉积的理想选择。AMAT 0010-36162W反应堆具有可扩展、高精度的线性运动底座和两个地面支撑的流动-动态阳极滑块，用于双向安全运动。反应堆完全密封，防止污染物堆积，实现精确的化学反应。该装置设有带蒸汽供应系统的封闭式腔室，可实现精确的蒸汽输送和卓越的汽化控制。腔室设计包括先进的气动屏蔽绝缘，消除了温度分层，实现了精确的化学温度控制。整体沉积矩阵提供了目标在基板界面的精确定位，而四区热剖面控制单元则确保了可靠的热管理。应用材料0010-36162W反应堆的可控气体机利用多达六个单独编程的气体输入，允许多个气体反应和精确的化学控制。该机组还配备了飞行时间质谱仪（TOF MS）和离子泵，以方便挥发性氧化过程，并允许直接检测和控制反应产物。提供了可扩展的工艺模块,允许增加沉积功能和增加材料吞吐量。0010-36162W反应堆非常可靠，即使在最恶劣的运行条件下也具有良好的控制和可重复的性能。该工具完全可扩展和可配置,以适应各种基材尺寸、材料和工艺,从而实现最大的灵活性。其精确、线性运动的装配还确保了卓越的可重复性和稳定的层一致性,其集成的诊断资产可以提醒操作员注意可能出现的任何问题。其尖端技术和创新设计使其成为最苛刻的化学反应和半导体操作的理想工具。