二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162X #9075362 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162X是一种特高压蒸发/溅射反应器,用于将薄膜物理气相沉积到玻璃、硅、金属或陶瓷等基板上。设计用于LMS真空系统等标准L级真空系统。AMAT 0010-36162X的底压范围为6.7x10-7 torr至1x10-2 torr，可用于形成导电、绝缘、光学或屏障膜。应用材料0010-36162X利用电阻加热与蒸发材料的粉状、颗粒状或片状形式.其蒸发室由不锈钢组成，安装夹具由镀金铜制成。阳极氧化铝用于天线导轨支架和开槽盖，PTFE涂层聚酯聚酯用于辐射屏蔽。天线导轨支架的天线载波和陶瓷由BN、Y-ZrO2或AlN等耐腐蚀材料制成。蒸发器还具有多个石英监视器端口，以及使用石英晶体膜厚度监视器或无损声监测系统的选项。0010-36162X还具有用于溅射沉积的磁控管和离子枪。磁控管溅射枪通过使用移动磁场提供稳定、均匀的薄膜，由在真空环境中偏置的线圈和交替产生。磁控管枪以目标的形式进给材料，并由直流电压供电。另一方面，离子枪通过枪产生的离子向所需的基质发射原子。磁控管和离子枪都适合在高真空或低真空应用中使用，可以进行编程以达到所需的沉积厚度。最后，AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-36162X包括允许用户监控工艺条件并提供自动控制沉积速率的工艺软件。它还提供了一系列参数设置,使用户能够调整工艺条件以满足其特定的沉积要求。内置的安全功能有助于确保制造过程安全高效地进行。总体而言，AMAT 0010-36162X对于在实验室和制造环境中创建高质量和一致的薄膜沉积非常有用。它具有一系列组件和设置,允许用户根据需要调整工艺条件,以及用于监视和控制沉积参数的工艺软件。安全功能还有助于提供安全高效的沉积环境。