二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9026414 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一种先进的等离子体蚀刻反应器,设计用于微电子器件制造。它用于控制和维持超高真空环境,在该环境中,利用光学生成的等离子体蚀刻和绘制基板表面。反应堆由一个圆柱形的腔室组成,其底部有一块扁平的金属板。它有一个内壁设计为能够抵抗来自反应性气体的腐蚀和一个法拉第笼子保护等离子体免受外部电场或磁噪声。多层阴极组件通过顶板插入腔内,充当放电源,收集等离子体产生的电子。阴极组件连接到电源,能够在阴极和阳极(金属板)之间产生电弧放电直至30kV。AMAT 0010-36408还具有完整的可选附件系列以提升其性能,如蚀刻面罩、泵送端口隔离器和数字读出气体压力调节器。位于真空室的电加热元件,用于加热反应器的部件,促进反应温度均匀,提高等离子体稳定性。反应堆还配有观察窗口,用于监测蚀刻过程。最后,工厂按照严格的标准对APPLIED MATERIALS 0010-36408进行了校准,以确保可靠和一致的结果。它坚固耐用的结构使其能够在各种不同的操作环境中可靠地运行。这种先进的反应堆是半导体工业中对基板进行高精度蚀刻和图案化的理想选择。
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