二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177196 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一种电感耦合等离子体（ICP）反应器，用于半导体器件加工等各种硬件应用。此特殊模型因其模块化设计而受到重视,允许定制其内部组件以满足特定应用程序的需求。它的工作原理是创建一个热等离子体，利用持续的射频功率分解化学元素，然后将其注入反应室中。此过程允许在微观水平上对材料进行表面修改和清洁。AMAT 0010-36408通过应用高频（最高70-MHz）射频源在反应室中创建轴对称热等离子体运行。高频源在反应室中感应出电流，激发内部存在的气体粒子。这种激发能导致气体粒子温度升高，或者电离或解离，然后注入反应室中。由于射频源的效率，该过程非常高效，允许材料以精确和受控的方式选择性沉积在晶圆表面。APPLIED MATERIALS 0010-36408的反应室有一个可移动的顶部，在进行调整时便于进入。腔内存在可调的源密度函数，允许设置射频源的强度，同时设置等离子体的温度和压力。这使用户能够精确控制测试材料在晶片上的沉积速率。此外,通过控制操作参数,可以设置安全限制以确保操作安全。0010-36408还具有为系统提供额外稳定性的集成离子源。离子源向反应室供应离子化的氙气，从而稳定等离子体分布，从而延长反应室中各组分的寿命。此外，它还有助于减少过程中损失的热能，确保过程更加高效。作为一个整体，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一个可靠、通用、高效的ICP反应堆，被认为是许多硬件应用必不可少的组成部分。高度可调的射频源使其适合于精确的表面利用任务，而集成的离子源则有助于延长其组件的寿命并确保高效运行。