二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177210 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一种单晶圆同心电感耦合等离子体（ICP）反应器设备，广泛应用于先进材料和器件加工。它比传统的反应堆系统具有许多优势，例如更高的通量工艺和更好的工艺控制。这使得它非常适合各种等离子体应用，包括蚀刻、沉积和氧化/还原。该反应器采用双激光源，有助于提高等离子体的均匀性，有效清洁晶片表面。激光源位于主腔室外，从而提高了工艺可靠性和控制能力。双激光器可以更好地控制等离子体参数，从而实现更高效的操作。反应堆可处理直径200-300mm的晶圆，最大射频功率为1.2kW，感应功率可达4kW。射频功率可以设置为零到任意频率，从而能够精确控制等离子体功率。上部屏蔽层用于产生均匀、温度稳定的大气，适合扩散过程。该系统配有射频反馈回路，可连续监测等离子体功率，从而能够精确控制其参数。这提供了一个高度准确和可重复的过程。反应堆还设有变速对流控制，以保持等离子体均匀分布。这样可以在晶片上进行更均匀的材料沉积。这对于各向异性蚀刻应用特别有用,在这些应用中,必须从所有表面均匀蚀刻材料。该设备设计用于现场安装和便携式系统。它完全可定制,具体取决于特定的流程要求,并且可以针对复杂的定制配方进行设置。它还包括过程安全的多种安全功能。AMAT 0010-36408反应堆是一种高度通用的材料加工和设备制造应用机器。它提供快速的处理速率,并提供比其他系统更高的过程控制。适用于多种工业、研究、教育环境。