二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9358045 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 Reactor是为表面和薄膜沉积应用而设计的多功能高端设备。反应堆具有螺旋流动设计、活性气分布和低调、独立的陶瓷外壳等创新功能。该设计实现了薄膜沉积的高均匀性和极低的缺陷密度.该系统反应室大，容积高达0.004立方米。创新的气流设计进一步增强了沉积的均匀性，利用螺旋和/或蛇纹石流动技术增强了气面接触。活性气体分布等同于表面条件改善，颗粒污染低，沉积膜中耐火金属元素大大减少。这反过来增加了沉积膜的寿命，使得AMAT 0010-36408反应堆适合于高端、高保真的过程。反应堆配有可插入射频源，可用于低压、低热预算的沉积过程，使高价值涂层应用成为可能。反应堆还有一个精确的温度控制系统，以及一个压力控制系统，每一个系统都是为精确运行而设计的。反应堆的温度范围被设计为覆盖各种沉积速率和温度，最高可达1800°C，噪声水平非常低。这种高性能反应堆配备了一系列自动化控制，包括低振动陶瓷钟，薄膜保护，过程中断和自动平衡功能。应用材料0010-36408反应器适合各种薄膜沉积需要，是高保真和/或高价值涂层应用的理想选择。其薄膜沉积均匀性和低缺陷密度保证了一段时间内性能的一致性，使得精度和可重复的结果成为可能。