二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36734 #293807909 待售

ID: 293807909
晶圆大小: 12"
Ceramic heater for Producer, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36734是一种全尺寸化学气相沉积(CVD)室反应器子系统。它设计用于电子束设备,主要用于将材料沉积到预制的基材或晶片上。该腔室的工作范围从超高到环境压力条件,以及高达2000 °C的温度。AMAT 0010-36734包括陶瓷喷射器、排气系统和用于分配前体或反应物材料的射频线圈。这样做是为了确保材料在腔室内的均匀分配,从而产生高效和优质的沉积物。此外,该腔室的设计采用了若干谨慎措施,以保护基板和部件免受静电荷污染和/或潜在损害。这些措施包括防静电地板、惰性气体淋浴和专门的墙面处理。APPLIED MATERIALS 0010-36734还利用专门技术提升了腔室的整体性能,如压力控制自动化、均匀性控制、远程诊断等。这确保了材料的精确和一致沉积,提高了产量。该腔室还配备了一个计算机控制的液晶显示屏,用于监视和控制所有腔室参数。此面板提供压力、温度、沉积速率、射频功率和气体消耗等信息。这使操作员能够实时监控其流程性能,并快速高效地调整参数。总之,0010-36734是一种工业标准的CVD室反应器机器。它旨在为基板提供一致、高质量的沉积物,同时保持工具的安全性和防止污染。该室利用专门技术确保精确高效的沉积环境,并通过其计算机控制的液晶屏面板提供方便的可调整性。
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