二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-52034 #293648075 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-52034反应堆是一种手动操作的工艺室，能够在各种温度、压力和工艺气体下运行。它具有符合人体工程学的设计和方便用户的特点，非常适合任何需要准确控制物料流动和沉积速率的通用沉积应用。该反应器由包括不锈钢、铝和锌在内的标准材料构成。它由圆柱形腔室、压力表、质量流量控制器、加热元件和气泵组成。这种组合使反应堆能够将诸如薄膜的气相沉积等过程导航到材料表面。圆柱形不锈钢腔室尺寸为38 "L x 14" H x 14 "W，可处理高达60°C的温度。可使用300W控制的加热元件轻轻加热腔室,以最大10°C/min的速率确保所需的温度控制。加热元件悬浮在离反应堆底部约4厘米处，提供均匀加热。压力表由铝制成，位于腔室顶部。该量规与质量流控制器相连，使用户能够精确调节腔室内的压力。控制器还连接到通风口和排气法兰，控制空气的流入和流出。气泵最高运行时间为4500升/分钟，安装在质量流量控制器的正下方。这样就可以连续流动所需的工艺气体和沉积材料。此外，腔室的功能正常，最大压力可达1000毫巴，并且可以稳定地控制物料从源到基板的流动。完整的AMAT 0010-52034反应堆设计用于在高达600°C的温度下提供准确、可靠的沉积。它设计简单，结构坚固，适合实验室和工业应用，需要一致的结果。