二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-56201 #293666003 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-56201是为硅晶片上半导体材料的沉积过程而设计的反应器。这座反应堆是一个集群工具，允许在一个集成设备中完成多个过程，使其成为先进薄膜半导体技术沉积的理想选择。反应堆有一个光刻光栅，使用户可以用几何图样对基板做图样。该标线与加工室结合，使光学光刻，在基板上创建所需的图样。等离子体增强化学气相沉积过程随后被用来沉积一层薄薄的材料，如二氧化硅或氮化硅。沉积可以在单层或多层中完成，从而在基板上产生所需的特性和特征。反应堆被设计成高度灵活的系统，能够在同一腔室中执行多个过程。这种柔韧性的一个例子是离子植入基板的能力，一种用来向基板材料添加电荷以控制晶片的电子特性的过程。可以在腔室中完成的其他过程包括氧化和选择性蚀刻，使得能够制造具有复杂几何形状或多层的晶片。这座反应堆的设计也考虑到安全性，设有空气过滤装置、灭火机和紧急关机控制装置。反应性气体输送工具还确保了沉积过程能够安全有效地完成，消除了与化学蒸气或气体有关的任何潜在安全风险。反应堆能够进行多种过程，包括金属沉积、自旋涂层、等离子体增强化学气相沉积和溅射。这种反应器的灵活性和安全性使其成为任何半导体制造或生产设施的理想选择。