二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-59787 #293665751 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59787 PECVD反应器是一种沉积室，设计用于将薄膜或层沉积到各种电子器件和系统的基板上。该系统利用化学气相沉积（CVD）工艺将所需的薄膜材料沉积到基板表面。PECVD反应器具有易于使用的腔室设计，能够在整个基板表面提供出色的沉积均匀性和均匀的层厚度。AMAT 0010-59787反应堆具有单一的自动化装卸室，以及集成的动力、真空和气体输送模块。该腔室的设计目的是提供较低的基板装卸时间，以确保较短的整体处理时间。该腔室还设计成达到比传统热CVD工艺更高的工艺温度，允许生产更高质量的薄膜。该反应堆的设计旨在提供简单直观的操作，具有易于跟踪的图形界面和稳健的系统架构。腔室的设计提供了一个宽广的处理窗口，允许使用者根据其特定的沉积需求来调整温度、压力和其他工艺参数。这可以让用户创造出种类繁多的高品质薄膜。该反应堆中的反应性气体输送系统利用低压、低温化学气相沉积（LP-CVD）工艺将所需的薄膜沉积到基板表面。LP-CVD工艺允许用户从多种反应气体中进行选择，也允许气体成分的调整，从而产生高度特异性的薄膜。该腔室还设计为提供极为均匀的薄膜沉积，并有可能在整个基板表面形成精确和可重复的薄膜厚度剖面。该室还具有易于使用的控制器，具有广泛的数据记录和过程控制功能，以确保过程安全并产生可靠的结果。应用材料0010-59787 PECVD反应器是一种强大的沉积室,具有高质量的沉积均匀性和最佳的工艺控制,非常适合生产各种电子器件和系统的薄膜材料。