二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70058 #293658101 待售

ID: 293658101
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70058反应器是一种高效的腔室设备,设计用于材料科学和工艺开发的各种应用,如薄膜沉积。该系统能够提供优质、均匀的薄膜材料涂层,用于微电子、数据存储、光伏等多种应用。AMAT 0010-70058反应器采用了一个沉积室,该沉积室的特点是一个不锈钢真空室,里面装有高纯度氧化铝,里面装有一个可移动的石墨熔炉。沉积室还装有精密平衡木、射频发生器和控制沉积速率所需的其他硬件部件。这个单元还包括一个广泛的腔室压力控制机,包含在两个独立的阶段。压力控制的第一阶段包括一个涡轮分子泵以降低气体背景压力,以及一个粗加工的粗加工节气门以精细调节腔内的压力。第二级压力控制包括与法拉第杯耦合的电子束源和机械闸阀,以精确控制汽化率和腔室压力设置。该工具利用了最新技术,由几个组件部件组成,这些部件经过优化以获得最佳性能。它具有较高的加工率、高度均匀的层厚度和出色的粘性控制。反应堆采用的各种技术包括一系列先进的红外和紫外线激光器以及先进的电子显微镜。对于化学气相沉积,反应堆装有一个射频发生器、一个或两个灯丝供气管、一个石英管和一个气体注入喷嘴。在操作过程中,气体被引导到目标上方,在那里它们与加热的材料相互作用。当原子反应时,它们将一层或一层材料沉积在基板上。该层的厚度范围从纳米到微米不等,具体取决于材料和操作参数。除了化学气相沉积,APPLIED MATERIALS 0010-70058反应器还支持多种其他物理气相沉积过程,如溅射沉积和离子束辅助沉积。在溅射沉积过程中,将一种目标材料放入真空室,并用高能原子轰击。这些高能原子随后断开材料表面,形成薄膜。离子束辅助沉积的工作原理是将高能离子束注入室内,然后与目标材料发生反应。总体来看,0010-70058反应堆是一种先进、高性能的腔室资产,旨在提供高质量、均匀的涂层。通过利用最新技术,该模型能够提供高度均匀的层厚度和出色的粘度控制。该设备还能够支持各种物理气相沉积工艺,使其能够应用于各种薄膜技术。
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