二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #293591839 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005是为薄膜轻沉积而设计的反应器。它用于硅和复合半导体沉积，以及LED和其他光电材料。反应堆有一个大的加工室，直径36英寸，深度35英寸。腔室是一种惰性的工艺环境，允许沉积所需的各种温度、真空条件和清洁水平。它采用热墙设计，配备Turbo Torr泵设备和直接基于频率的射频电源。热墙设计提供了出色的温度均匀性和定向控制良好的等离子体。该电源系统在薄膜工艺中具有较高的均匀性、剂量率和可重复性。它还对纳米结构的大小和形状提供了更大的控制。这对于需要精确层厚度控制的光沉积应用来说是一个重要的特点。该工艺室配有电极篮，在电极布置上允许充分的灵活性。对于外延等几种薄膜工艺来说，这是一个很有价值的特点，在这种工艺中，必须创建对薄膜厚度有精确控制的自组装结构。AMAT 0010-75005反应堆还具有直接驱动电子枪、多级快门控制、过程仪表和自动化过程监测单元。这些特性保证了薄膜沉积的更高精度和可重复性。流程参数可以快速更改,无需手动调整。自动化过程监视机器还允许对过程状态进行全面反馈，这有助于确保最佳性能。这有助于减少可变性，从而导致生产更加一致。应用材料0010-75005反应器是轻质沉积工艺的绝佳工具。它提供了出色的温度均匀性，精确控制纳米结构的大小和形状，以及对工艺状态的透彻反馈，从而确保了最佳性能和可重复性。该反应器具有广泛的特点，是LED和光电材料沉积的理想选择。