二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9087782 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005反应堆是为化学和/或半导体应用中高批量生产而设计的加工反应堆主力模型。它为半导体制造中最多8英寸晶圆的所有必要工艺步骤提供了专用工作区。这种设备的设计目的是通过允许将多个模块整合到一个单元中来帮助简化流程，从而创建一个高效且具有成本效益的生产单元。AMAT 0010-75005反应堆装有高质量的石英、除虫菊酯或氧化铝反应堆室，用于各种气流和温度。系统中的所有模块都与温度传感器集成在一起，能够对所需的工艺参数进行出色的热控制和一致的可重复性。它包括涡轮分子原位泵，创造高质量的超高真空环境，防止除气等不良现象。该单元的主要部件包括：机器人装载机：一种计算机控制的自动装卸机，用于管理加工室中的晶片。控制器：这包括用于输入数据的人机接口（HMI）、用于建立流程参数的配方编辑器、用于控制流程的中央流程控制器（CPC）以及用于帮助自定义功能的软件工具包。反作用室：它有多种选择,可用于各种工艺应用。它配备了加热的圆顶、电动喷射器加热器和工艺端口技术，允许快速、可重复的结果。气体分配工具：这包括高精度压力调节器、质量流量控制器和其他气体系统，以确保气体分配到反应室的准确性和可重复性。溅射源：这包括一系列溅射源选项，包括平面枪、旋转缸和各种应用的旋转目标。原位膜厚度监视器和污染监视器：该监视器提供反应室内参数的实时反馈。视口：此视口为反应室提供清晰的视图,有助于最大程度地减少过程的可变性。APPLIED MATERIALS 0010-75005 Reactor是完全自动化的，可以容纳多个过程步骤。此资产允许快速、轻松地进行设置,并提供有关流程条件的即时反馈。它可以用于各种温度和压力应用，并且设计独特，以提供灵活性和可重复性。0010-75005反应堆是中高批量生产要求的绝佳选择。