二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9389380 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005是设计用于半导体器件制造的单晶圆反应器。单晶片反应器作为热退火过程的一部分。它可以在严格控制的环境中实现高温,应用范围从简单的掺杂活化到复杂的结构集成。AMAT 0010-75005由几个组件共同组成，共同打造完整的设备。它包括两个垂直对置的灯，为反应室提供均匀的热能。这些灯由TWO电源供电，这些电源可以精确控制总功率高达10kW的辐照度。此外,反应室还包括一个反射器,可进一步确保均匀的辐照.负载锁和真空传输机制使单片基板能够使用快速更换的盒式磁带安全加载。反应堆装有快速热处理（RTP）技术，用于控制温度、压力、时间等参数，以便精确退火结果。这样可以提高设备性能和可靠性。应用材料0010-75005利用基于PC的热批处理软件包优化退火过程。这确保了对热过程的控制,并允许从批处理到批处理的可重复性。此外，该反应堆设计具有安全特性，可优化系统完整性，保护操作员和人员。0010-75005为人性化单元,具有大触摸屏面板和直观的控制菜单。真空控制和晶片加热是自动管理的，安全联锁机可以设置为自定义参数。不同的基材可以通过AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-75005进行加工，包括硅、砷化的，以及其他材料。综上所述，AMAT 0010-75005是一个用于热退火过程的单晶圆反应堆。它提供对温度、压力和时间的精确控制,以改进退火效果,并实现批量处理的自动化。其安全特性确保工具完整性，保护操作员和人员。该反应器是半导体器件多基板制造的有效工具。