二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-81422 #293659997 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-81422是一种多室热反应堆设备，设计用于沉积金属、聚合物、电介质和半导体材料的薄膜。它基于提高系统灵活性的高效模块化体系结构。它包括一个开放管主反应器室，通常用于将气体反应物反应成所需的薄膜材料。开放式管设计还允许用户根据自己的特定需求定制腔室。该装置还包括成角度的定向喷射器，以确保整个基板的加工均匀。它包括几种压力和高温控制功能，如手动或自动气体调节和防止过热和过压的安全机制。它还具有改进的性能和运行范围,可扩展到300 °C至1650 °C。精确的温度控制可以实现多级工艺流程,而创新的板波导组件则有助于在多种配置中创造稳定的性能。所有这些特性都能精确控制反应物和所有工艺参数。它还包括用于等离子体增强过程流的集成射频电源。隔壁设计有助于提高最终产品的沉积率、均匀性和出色的污染控制。该腔室易于组装、操作和与上游或下游系统集成，以实现先进的工艺流程。机器还配备了直观的软件包，调节压力、温度、气流、成分等所有参数。它还包括视频成像和可编程触摸屏显示器。AMAT 0010-81422是许多材料沉积应用的绝佳选择。通过确保将沉积和蚀刻工艺有效地集成到单个腔室中，它提供了优越的加工效果。凭借其先进的功能和直观的软件，即使是最复杂的食谱也很容易使用。适用于半导体器件、生物医学器件、太阳能电池和化学机械抛光（CMP）操作。