二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-85027 #293650214 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-85027是一个高度先进的反应堆，设计用于在其单一平台内的独立腔室中的多个过程。它通常用于半导体制造及相关行业。该反应堆由两个部分组成：一个包含等离子体源，以及气体和液体入口和出口；和另一个包含工艺室的扇区。等离子体源是一种产生低温低压等离子体的高频发生器。然后通过工艺室进行大量沉积、溅射和蚀刻操作。先进的保形沉积过程形成并沉积在各种无图案的基板上，具有极好的均匀性，是形成100纳米以下器件的理想工具。先进的蚀刻技术包括高密度等离子体蚀刻和离子束蚀刻，以实现多层的高精度蚀刻，缺陷最小化。此外，还可以采用具有可调溅射速率的高性能溅射技术来沉积最终层和沉积高反射率层，用于钝化和光学特征。除此之外，AMAT 0010-85027还具有多种允许精确过程控制的功能。其中包括精确瞄准等离子体源的力平衡内部线圈系统，以及实时监控系统和先进的计算机控制自动化。其先进的过程控制也保证了一致性、重复性和统一性。这个反应堆具有很高的适应性，可以定制以满足用户的特定需求。它也完全符合ISO 13485和21 CFR Part 11标准，使其适合在生物技术和医疗器械等多个行业使用。此外，它既可靠又高效，为半导体制造提供了经济高效的解决方桉。