二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93133 #9277963 待售

ID: 9277963
Dome Temperature Control Unit (DTCU).
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133是为半导体制造和其他微电子相关研究应用而设计的多区热处理反应堆。这个高度专业化的反应堆配有精密的温度和压力控制器,每个加工区都有自己的独立控制器。该反应器标配10个热控制区,用于整个反应室均匀的温度梯度。它还包括低流量气体注入功能,通过整个反应过程确保一致的温度和压力。这种精心设计的设备还致力于优化反应室内的气流,可以增加通道数量,以优化反应物与反应要求之间的兼容性。该系统对气体的均匀扩散,成为一个高效可靠的反应平台。AMAT 0010-93133设计用于广泛的工艺应用,特别适用于蚀刻、金属化、光刻、沉积、氧化等半导体工艺。使用计算机控制单元还允许较长的处理时间和使用较低功率设置,使其成为低功率过程的理想设备。APPLIED MATERIALS 0010-93133还配备了一系列安全特性,如陶瓷绝缘双壁结构,以减少热损耗。此外,它还设计用于从侧面快速打开,以便在必要时启动紧急疏散。总体而言,0010-93133是一种精密可靠的反应机器,适用于多种类型的工艺。其高效的气流、均匀的扩散、灵活的温度控制和全面的安全特性,使其成为研究和半导体应用的高效、通用的工具。
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