二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93133 #9277991 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133是设计用于半导体制造的先进自动化反应器。反应堆主要用于蚀刻、沉积和清洗过程；与AMAT APPLIED MATERIALS Endura平台的其他组件一起使用。AMAT 0010-93133是现成的等离子体处理反应堆，可配置用于多种应用。它具有与SMIF兼容的硬件,可确保在设备之间和设备内高效传输部件。通过使用集成反馈回路，ETCH和CVD反应堆能够精确控制气流、压力和温度。此功能允许在自动化环境中实现出色的流程可重复性和可重复性。APPLIED MATERIALS 0010-93133反应堆的设计包括几个创新的特点，以提高运行效率。该系统具有多室工具，可以配置为生产从铝到铜的不同材料。顶室可密封加压，用于生产氧化硅等交替应用。底腔提供全射频和直流同轴注入点，用于处理频率和电压。0010-93133反应堆还设有高真空室，可在PECVD环境中运行。这允许更高的沉积速率和更大的晶体密度。通过使用闭环控制器，可以调整每个晶片的等离子体条件，提供一致的沉积剖面。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133反应堆还包括一个控制整个过程的计算机化单元。这包括监测气体利用率和晶圆转移，并提供晶圆温度和气流的实时数据。该机器还提供高级安全和审计跟踪,确保对整个过程完全负责。总体而言，AMAT 0010-93133是设计用于半导体制造行业的最先进的自动化反应堆。它具有多腔过程的能力，并具有生产多种类型材料的能力。其先进的控制工具允许精确的操作和优异的过程重复性。这使得APPLIED MATERIALS 0010-93133成为任何半导体制造设施的宝贵工具。