二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93423 #293650215 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93423是一种先进的等离子体蚀刻反应器，设计用于进行化学气相沉积（CVD）处理。反应堆是一种两室多过程设备，顶部和底部的腔室通过外部通风口系统连接。它有一个浅室设计和温度控制每个腔内允许独立控制工艺参数。顶室具有高密度等离子体源和强大的感应电源。这允许创建均匀且可复制的等离子体，这对于成功的蚀刻过程至关重要。它还包括一个反应性气体输送装置，用于输送必要的工艺气体，以便实现所需的蚀刻参数。底腔包含多个反应目标，其中一些可能是绝缘的，也可以安装额外的工艺组件或探测器。AMAT 0010-93423构造在坚固的不锈钢框架中，能够承受高温。它还具有广泛的安全特性，包括用于超压保护的破裂盘、应急排气系统和应急气体关闭阀。PLC具有自动控制和数据采集功能,并带有板载触摸屏,可访问流程设置和数据记录功能。这允许用户在操作过程中实时监控关键流程参数和调整设置。PLC还允许机器轻松集成到更大的流程监控或自动化网络中，同时支持EtherCAT和基于以太网的网络。APPLIED MATERIALS 0010-93423适用于广泛的工艺和应用。它非常适合涉及低温工艺配方的应用，如氧化物、氮化物和氧硝化物的沉积。它还能够在广泛的材料上进行蚀刻，包括硅、不锈钢、InP和SiC，可以用来实现高分辨率和均匀性。此外，它适用于各种样本量，非常适合用于研发项目。