二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev H #9145237 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev H是一种用于化学气相沉积（CVD）工艺的先进热反应器。该反应堆旨在提供高度的控制、精度和可重复性，使其成为寻求发展或提高生产速度、一致性和可靠性的人的理想选择。该反应堆采用先进的闭环过程控制系统，以确保精确的热控制和统一的处理环境。它还包括一系列诊断和数据记录工具,用于记录系统性能并允许长期的流程优化。反应堆具有24英寸乘24英寸的晶圆容量，允许容纳多达2504个晶圆。压力可在1至150 Torr的范围内调节，支持包括外延沉积和低温过程在内的多种应用。温度范围也可调节,介于环境温度和1000°C之间。它还具有最先进的微处理器控制站，可以精确存储多达100种不同的工艺配方。AMAT 0020-0323 Rev H还提供了几种用户友好的功能,如安全联锁、实时监控和一致的性能。联锁有助于确保安全，而实时监控则允许操作员检查流程参数并根据需要进行调整。最后，一致的性能确保了可重复的结果，通过使用工艺配方可以进一步优化结果。总之，APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev H是设计用于CVD工艺的先进热反应器。它提供了令人印象深刻的控制程度、精确度和可重复性,允许开发和优化所需的过程结果。该反应堆能够处理多达2504个晶圆、可调压力和温度范围以及安全联锁，为那些寻求提高性能、一致性和可靠性的人提供了可靠准确的解决方桉。