二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C #9087289 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C是专为使用化学气相沉积（CVD）工艺而设计的反应堆。这个装置有一个圆柱形的腔室，长两英尺，直径两英尺。腔室的底部有一个电加热卡盘。此卡盘用于固定基板或接受CVD处理的对象。基材的直径可以在2到6英寸之间。腔室还有一个四阀入口，位于其上边缘，就在腔室的颈部下方。该端口允许材料在CVD过程中进出腔室。这四个阀门常被用来控制各种物质的入口和出口流量，如工艺气体和真空泵排气。阀门可以通过多种不同的方式进行配置,具体取决于应用程序。该腔室还具有氧化铝敏感器，或放置在卡盘上的一块特殊陶瓷材料，以帮助在腔室内均匀分配热量。这有助于确保基板将接收相同水平的热量，而不管它位于腔室的位置。AMAT 0020-20626 Rev C反应堆具有多项特性，使其能够安全运行。该室配有紧急关闭开关，可用于在紧急情况下切断系统电源。此外，反应堆还配备了惰性气体流动系统，可用于在清洁氮气中泵送，以取代腔室中可能存在的任何潜在危险的可燃气体。在功率方面，反应堆装有一个20,000瓦的加热元件，能够提供进行各种CVD过程所需的温度。另外，反应堆有一个可变电源，可以根据工艺的要求调整以提供不同程度的功率。总体而言，APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C反应堆是一种可靠且用途广泛的装置，已被用于多种CVD工艺。它具有多种安全特性，使其能够在各种温度下安全地运行，用于各种不同的化学气相沉积应用。