二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20676 #9141100 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20676
ID: 9141100
Chamber blank off.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-20676是一种低压CVD反应器,具有优异的沉积均匀性、高通量和优异的保形性。这种用途广泛的反应器非常适合高质量薄膜的沉积,能够实现各种应用,包括半导体蚀刻、氮化物外延、石墨烯生产、间隔层沉积等等。AMAT 0020-20676反应堆设备具有多种特点,确保每次都有可靠、可重复的过程。它具有高性能的内部三相电源,最大功率为4.2千瓦,可调加热速率高达300 °C/分钟。此外,它还具有高效的石英管设计和低矮的腔窗,可实现较高的沉积比和均匀的沉积速率。此外,APPLIED MATERIALS 0020-20676配备了流体管理系统,能够精确控制气流、压力和温度。流体单元的独特设计使其非常适合用于薄膜沉积过程,以及真空和超临界处理。此外,该机器还具有先进的温度均匀性控制工具,可帮助确保整个加工体积的温度均匀。该反应堆是为最佳安全而设计的,具有自动安全关闭功能,如果任何参数超过其安全极限,该功能将会激活。此外,反应堆采用先进的材料沉积检测技术进行设计,能够进行实时监测,以确保您的过程保持在所需的操作参数之内。总体而言,AMAT 0120-20676反应器是各种薄膜沉积工艺的绝佳选择。凭借其先进的功能、卓越的性能和安全功能,这种多功能资产可提供可靠、可重复的结果。而且,采用通用石英管设计,这种反应器模型可以适应许多工艺和基材,使其成为任何沉积需要的可靠和通用的选择。
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