二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-02955 #293658139 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-02955 Reactor是一种用途广泛、精密的工艺室系统,非常适合各种沉积和蚀刻工艺。AMAT 0040-02955反应堆具有业界领先的1.8米半径,可提供高达近100万平方厘米的配方,是众多研发、生产和质量控制应用的选择。应用材料0040-02955反应堆采用全金属2706-D非磁性不锈钢外墙结构,具有高容忍真空密封、先进的双面加工等离子体金属化以及持久可靠的高级联合材料设计。它还通过优化的控件集提供增强的安全性和多功能性,包括多次紧急停机和数字读数。此外，0040-02955反应堆内部采用耐腐蚀不锈钢结构，最大工作压力为530 Torr，工作温度范围为-55至250 °C，以及各种相容的基材。该反应堆最多可支持18个工艺方桉，并提供高达近100万平方厘米的令人印象深刻的腔室体积。它还具有较大的沉积面积和优化的射频匹配系统，以提高基体均匀性和沉积速率。AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-02955反应器以其三维溷合脉冲工艺和底物对底物的均匀性，非常适合硅、钨、TiN、铜钨沉积等各种具有挑战性的应用。它在侵蚀反应和方向角等离子体溅射方面的均匀性是一系列蚀刻应用的理想选择，如硅、GaAs和SiN蚀刻。该反应堆还能够同时进行多种技术蚀刻。它还具有高长宽比蚀刻能力，是芯片级设计修改的理想选择。综上所述，AMAT 0040-02955反应堆是从沉积到蚀刻等一系列工艺技术的理想解决方桉。APPLIED MATERIALS 0040-02955反应堆具有坚固的结构、广泛的工艺控制选项、最大运行容量近百万平方厘米。