二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-49285 #293647105 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-49285反应堆是一种高功率、高温、高压等离子处理系统。它是工业上最先进的工具之一，提供均匀的温度、清洁的加工和较高的材料沉积速率。AMAT 0040-49285反应器适用于薄膜沉积、离子注入、蚀刻、互连等多种应用。反应堆配有电源、射频电源和多室组件。该电源能够产生最高450V的高压，用于腔室的预电离和腔室内等离子体的形成。射频电源能够产生高达24千瓦的功率，以产生维持等离子体所必需的高频波。多室组件由阴极腔、阳极腔和低压主腔组成。阴极腔利用RF电源产生的RF功率，产生一股向阳极定向加速的离子流。阳极室包含一个待加工的工件，同时加热。低压主室能够容纳射频功率产生的高温和压力，同时防止电弧或短路。APPLIED MATERIALS 0040-49285反应堆的多室配置允许对过程进行非常精确的控制。可以根据需要精确监测和调整腔室的温度和压力。此外，阳极腔内的压力和温度可分别通过源气流和电子轰击进一步调节。这允许精确控制沉积速率、离子能量和离子注入水平。0040-49285反应堆还能够进行多种工艺，从薄膜沉积到陶瓷制造，再到蚀刻和半导体加工。射频功率的强度，对腔室内压力和温度的精确控制，以及可能过程的范围，使得反应堆成为许多工业应用的宝贵工具。