二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-53718 #293668979 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-53718是设计用于半导体加工的高性能等离子体蚀刻反应器。反应堆采用低温风冷源，对源施加高压射频能量场，为各种蚀刻任务创造等离子体环境。AMAT 0040-53718除了具有提高吞吐量和改进蚀刻均匀性的优点外,还具有易于使用和易维护的特点。反应堆的电源系统基于嵌入式3.5kW射频发电机。发电机具有高频稳定性和低频波纹，允许一致的蚀刻性能。等离子体室本身由两个铜线圈构成，两者都被封闭在氧化铝包膜中并磨砂以最大化射频吸收率。这种独特的材料组合使反应堆能够在保持卓越真空完整性的同时达到很高的温度。腔室内部配置有内垂壁和双进气歧管，可控制气流，便于清洁和维护。APPLIED MATERIALS 0040-53718的附加功能包括易于使用的发电机控制器、低维护快门组件以及用于后蚀刻烘烤的集成烤箱。该控制器使用户能够编程操作参数，也可用于实时监控和调整等离子参数。快门组件设计为在整个腔室提供最大压力均匀性，同时也保护腔室免受氧化腐蚀。最后，烤箱提供后蚀刻烘烤提高吞吐量和均匀性。总体而言，0040-53718是一个可靠、高性能的等离子体蚀刻反应堆，旨在满足当今半导体加工业的需求。AMAT/APPLICED MATERIALS 0040-53718反应堆从高频稳定发电机到易于维护的内部部件，提供了可靠、经济实惠的完整蚀刻解决方桉。