二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-82421 #293646607 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-82421是专门为半导体工业设计的一种化学反应器。该反应堆是一个高温、化学气相沉积（CVD）系统。它用于金属、金属氮化物、氧化物和电介质在半导体晶片表面的高温沉积。AMAT 0040-82421反应堆装有允许低压处理和高度过程控制的高温真空系统。这座反应堆还配备了可变压力和温度控制，允许广泛的温度和压力设置。温度范围从300摄氏度到800摄氏度，允许各种工艺以极高的精度完成。反应堆还有一个源气体控制，允许广泛的源气体配置。该反应器的设计具有优异的晶圆均匀性和工艺重复性。这是通过提供实时和运行后分析的高级光学监控功能实现的。板载软件控制所有参数,包括温度、压力和源气体。该软件可用于调整和优化每个过程的参数。APPLICED MATERIALS 0040-82421反应堆以整体坚固的设计建造至最后。它的不锈钢腔室和钝化的墙壁是耐腐蚀的，并且可以持久建造。其集成抽水系统提供高真空水平和快速排气时间。0040-82421是专门为满足半导体行业需求而建造的高温CVD反应堆。其先进的温压控制能力、广泛的工艺能力以及先进的光学监控系统，提供了一致、高性能的效果。该反应堆的耐用设计、耐腐蚀室和钝化墙为其提供了进一步的支持，这意味着它可以在今后许多年里提供可靠的结果。