二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-86 Rev.002 #293676279 待售
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AMAT 0040-86 Rev.002 Reactor是一种先进的多工艺半导体设备。该反应堆旨在为用户提供制造光伏器件和电路的广泛功能。反应堆是用非常高效的过程控制系统建造的,有各种各样的配方,允许用户定制他们的生产过程。反应堆采用先进的束线几何结构,包括七个独立可控的沉积源。这种波束线几何提供了前所未有的对沉积过程的控制水平。这种几何学的先进精确度也允许精确控制所生产薄膜的厚度和均匀性。该反应堆能够处理各种材料,包括硅和的。它还能够沉积多种金属和合金,包括铜和铝。氧化物的沉积也有可能与反应堆一起发生,包括氧化锌、砷化氙和氮化硅。此外,反应堆还可以沉积多种有机材料,如聚酰亚胺和全氟环丁烷。反应堆还能够进行沉积-蚀刻循环,以产生地沟、通气和其他结构等特征。由于其快速的工艺周期以及同时沉积和蚀刻不同材料的能力,该工艺非常有效。这一过程允许制造复杂的单层和多层半导体结构。反应堆内包含的先进过程控制系统允许用户在运行过程中监控和调整操作参数。这允许用户快速准确地调整沉积过程,以创建所需的薄膜和结构。此外,该单元还能够诊断问题并对过程进行更正。最后,APPLIED MATERIALS 0040-86 Rev.002 Reactor为用户提供了一系列方便的功能。反应堆配有可调平台架、可调气体管线、可调温度控制器,确保沉积精度最高。此外,该机器还具有用于操作、存储和分析流程数据的板载控制器,以及用于远程访问的集成局域网。
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