二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-56491 #293659985 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-56491 Reactor是半导体工业中用于蚀刻和沉积过程的工具。这类反应器是一种等离子体热处理源，用于在气基反应室中沉积和蚀刻材料。AMAT 0041-56491反应堆用于半导体制造、研究和学术实验室以及工业和生产过程。反应堆具有高通量、低成本的每晶片蚀刻工艺，提供高质量、可重复、均匀的蚀刻。反应堆可以在多工具环境中与其他工具集成，允许高通量晶圆处理，具有更大的运行灵活性。此外，反应堆利用专有的多频等离子体源有选择地去除蚀刻速率不同的材料。反应器还具有温度和过程控制功能，以最大限度地延长晶圆的寿命。其多频高频等离子体源也降低了晶片对晶片的可变性。利用其智能蚀刻实用程序（SEU）软件,反应堆能够将蚀刻速率配置文件与非常具体的客户要求相匹配。反应堆包括一个带有闭环功率控制系统的电箱，以最大程度地减少晶片上和外热处理的不均匀性。反应堆利用几个附件来增加其功能。它们包括多种气体进气管线、保护卡盘免受等离子体的腔室屏蔽，以及可选的真空载荷锁。此负载锁定允许工具用于高吞吐量生产,从而提高过程效率和吞吐量。应用材料0041-56491反应堆还采用了多种工艺监测方法。这包括对反应堆的等离子体和机械性能的全面诊断。在该过程的任何时候,用户都可以查看设置和参数,还可以查看该过程中所采取的所有步骤的记录。0041-56491反应堆是一种用途广泛、可靠的工具，旨在满足半导体行业的需求。该工具非常适合需要精确和一致结果的蚀刻和沉积过程。此外，反应堆与其他工具和功能附件兼容，以提高功能和过程监测。