二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-75950 #293660498 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-75950是一种单区化学气相沉积(CVD)反应器,设计用于将高质量的薄膜材料沉积在基板上。该反应堆专门用于沉积有弹性和耐用的介电薄膜,如用于电子、储能装置和光学用途的薄膜。这一CVD过程涉及在底物上形成一个反应物气体蒸气云,通过热能或等离子体能量沉积;然后,这种蒸气云凝结在基板上并粘附在基板上,形成薄膜涂层。AMAT 0041-75950是一种水平式热CVD反应堆,设有供气线、供热设备、气流调节器和气体传感器,以及反应堆室中央的沉积区。单区设计包括液压驱动升降门,为样品室提供低接触表面积和无污染环境。该室利用循环低湍流气流,确保沉积区域的均匀性。APPLIED MATERIALS 0041-75950的真空室额定压力范围为1-10 Torr,耐腐蚀性为全不锈钢。基板支架被电加热至0-1000°C的温度。为确保沉积速率和层厚正确,用红外高温计监测温度速率。0041-75950专为高流程吞吐量和由于维护要求低而延长组件寿命而设计。它被设计为在需要进行任何维护之前连续不间断运行长达8小时。它具有一系列安全功能,包括自动快门系统、排气装置和内置腔室刮刮机,以收集任何堆积在腔室墙壁上的沉积材料。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS 0041-75950专为薄膜材料的高质量和高效沉积而设计,非常适合用于生产电子、储能设备和光学系统。这种单区CVD反应堆是薄膜沉积极为可靠、高效且具有成本效益的选择。
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