二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-75950 #293669536 待售

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ID: 293669536
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-75950是一种先进的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)反应器。它旨在将材料薄膜沉积到基板上。这些薄膜被用于从光伏电池到半导体器件等多种应用。AMAT/APPLIED具有双频率、感应耦合、源驱动等离子体源。这种设计允许对等离子体参数进行最佳控制,从而在沉积过程中实现更好的重复性和均匀性。反应堆采用集成的变频源驱动电源。这种设计允许精确控制等离子体的频率和功率水平。此外,反应堆配有可编程波形发生器,允许用户根据自己的具体需要量身定制工艺参数。该反应堆具有水平磁控管源和He-气源。这种设计确保了整个晶片的均匀性,并允许高度的过程控制。反应堆支持广泛的反应气体,包括N2、O2、CO和Ar。它设计用于直径2至8英寸的标准生产晶圆尺寸。APPLIED MATERIALS/APPLIED具有模块化设计,能够轻松交换加工源。这种灵活性使用户能够快速适应不断变化的基材需求。反应堆还配备了过程监控系统,允许用户实时可视化沉积过程。这有助于确保一致、均匀的薄膜沉积。AMAT/APPLIED MATERIALS/APPLIED能够实现范围广泛的沉积速率,从1到500 nm/min不等。这允许各种成核率,对于高质量薄膜的沉积至关重要。该反应堆专为高通量和工艺稳定性而设计,非常适合大批量制造环境。最后,AMAT 0041-75950是一种高度通用和用户友好的PECVD反应堆。它具有多种工艺来源和模块化设计,便于互换。该反应器的设计具有高通量和过程稳定性,为广泛的应用提供了快速可靠的薄膜沉积。
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