二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-03467 #293649904 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactor是一种革命性的技术设备，设计用于各种用途的薄膜沉积。反应堆由上下喷头几何组成，由一个封闭的处理室覆盖。AMAT 0090-03467的特点是处理面积大，工艺均匀性增强，流动动力学改善。上部喷头包含一个圆形的气体输送尖端阵列，允许动态气流分布到下部喷头。气体输送尖端由顶层材料构成，其设计目的是在整个工艺区域提供均匀的气流。尖端由一个固定环固定在适当的位置，该固定环的设计是为了防止意外移除。下部淋浴头由一个框架组成，该框架容纳了一些单独的粉末源插槽。这些插槽是可调的，可以对粉末源进行微调，用于各种材料沉积过程。下部喷头内还装有一个进气喷射器，可以引入有助于薄膜沉积过程的反应性气体。封闭式加工室容纳上下淋浴头几何形状。它由高温不锈钢构成，并配有热效率较高的隔热系统，用于加工室内的高温控制。加工室的壁衬有石英，允许射频能量传输到腔内，并根据需要引导到基板上。APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactor可用于在包括硅、玻璃和金属在内的多种基板上沉积薄膜。薄膜可用于包括薄膜太阳能电池、光学涂层、耐磨涂层和导电膜在内的广泛应用。该反应堆还被设计成一种用户友好且成本效益高的工具，使研究人员、工程师和制造商能够快速可靠地沉积薄膜。