二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-00396 #293655169 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-00396反应器是一种先进的大型半导体加工工具，设计用于对各种基材上的薄膜沉积进行高效、精确的处理。该反应堆具有先进的聚类体系结构，可提供卓越的处理性能和对环境的精确控制，以精确控制沉积速率和均匀性。设备配备集成气流压力控制、自动沉积控制，最多可容纳四个工艺室。这些腔室的设计便于大量生产多种基材，并提供稳定、均匀的制造条件。反应堆的最高温度范围高达400°C，能够进行氧化和蚀刻。它能够在基板上输送高材料负荷，同时最大限度地减小厚度扩散，提供低粗糙度--薄膜沉积的最佳制造条件。此外，反应堆还包括先进的碳蚀刻技术，以尽量减少由于蚀刻而造成的材料损失。AMAT 0100-00396配备了不同的工艺支架，设计用于系统中基板的最佳装卸。该装置还设有专门的气体分配机，可实现精确的压力控制、均匀的温度和均匀的工艺沉积速率，用于薄膜的热和物理气相沉积。基板传递工具包括一个精密的机械臂和一个步进马达，能够对每个工艺步骤进行精确的参数控制。该资产配备了多种仪器，包括光学发射光谱（OES）模型、石英微拉曼光谱（QMRS）设备、机械性能分析仪（MPA）和表面流变学分析仪（SRA）。这些仪器能够精确利用和评估系统中进行的进程，并提供可用于调整或修改进程或反应堆参数以取得最佳结果的数据。APPLIED MATERIALS 0100-00396是一种先进的工具，用于在多种基板上生产薄膜沉积。它非常适合要求苛刻的制造应用，如半导体器件和光伏电池。该单元设计为均匀性、精确度和高产率，是任何先进半导体加工需求的理想选择。