二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-09153 #293658872 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-09153 Reactor是一种设计用于执行先进和高精度的poiy-silicon蚀刻工艺的设备。该系统由沉积室和蚀刻室两个室组成。沉积室是一种闭环式真空室，能够支撑真空过程。该室配有各种组件，支持引入低压、控制真空、监测机组温度和提供过滤等过程。蚀刻室作为机器的主要加工室，是进行蚀刻过程的地方。该腔室还配备了沉积腔室的类似部件，有助于优化蚀刻工艺。PMTAMAT 0100-09153反应器装有用于蚀刻过程的电子束源和离子植入器。首先将低压电离气体引入蚀刻室，然后加热，以提高加工后的基材温度。这有助于引入反应性物质，从而诱导与底物的化学反应，从而实现精确蚀刻。电子束源通过控制蚀刻反应的方向来辅助蚀刻过程。最后，离子被植入到基板上，以便操纵基板晶体的大小和结构。PMT APPLIED MATERIALS 0100-09153反应堆是一种精密的工具，能够进行广泛的蚀刻工艺。通过其精密控制蚀刻过程的能力，该资产成为薄膜硅结构发展的有用工具。它能够生产具有优异结晶特性和明显电性能的材料。此外，它非常适合于微电子工业中使用的各种元件的蚀刻和制造。