二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22355 Rev.003 #9204716 待售

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ID: 9204716
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Poly chamber for DPS metal, 12" 2006 vintage.
AMAT 0190-22355 Rev.003是主要设计用于真空系统的反应堆。它由不锈钢构成,能够处理高达10-6托的压力。反应器的反应室是圆柱形的,通过装有真空密O形环密封的螺纹连接从外部密封。反应堆一侧装有两个端口,其中包含3K法兰,用于将气体和加热的汽化材料引入反应室。反应堆的反应室配有绝缘材料,以保持内部的均匀温度。这使用户能够使用高温电炉处理从25°C室温到1000°C的各种温度。反应堆可以直接与质谱仪、气相色谱仪和光发射光谱仪等其他分析仪器相连,创造出功能齐全的真空过程。反应堆的绝缘材料含有塑料涂层石英板。利用围绕反应堆的两个同心线圈对板进行电加热。这确保了反应室的均匀加热,尽管存在热点,但在整个室中产生均匀的温度。反应堆还包含氧化铝、钛包覆石英、石墨和氮化硼的工作壁,保护反应堆免受加热的蒸气、气体和材料沉积。反应堆能够加工硅烷、氯和氟化氢等多种材料。它还具有用于氧化和等离子体蚀刻等多种不同应用的能力。腔室没有最小尺寸要求,而且高度可调,这意味着用户可以控制尺寸和形状以适合应用。约可用体积为0.5至2升。反应堆还装有温度控制功能,可以精确控制室内温度。总而言之,APPLIED MATERIALS 0190-22355 Rev.003是一个高能力的反应堆,设计用于各种应用。其可调的腔室、均匀的温度控制以及多种材料的兼容性,使其成为任何真空应用的理想选择。
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